超高圧電子顕微鏡室
超高圧電子顕微鏡
透過型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡
画像処理装置
画像出力装置
試料作成装置

高分解能観察と分析、あらゆるニーズに応えます
 本室では、超高圧電子顕微鏡(1250kV)を中心として、200kV〜400kV級の各種透過電子顕微鏡をそろえている。これまでに学内の多数の研究室の利用及び学外、海外からの共同研究を広く受け入れ、活動を行ってきた。超高圧電子顕微鏡を用いた研究では、原子の直視観察、特に軽元素の観察についての研究が進められている。また、局所領域の元素の分析や状態分析、様々な材料の評価・解析のために超高分解能元素マッピングなどの手法も開発されてきており、電子顕微鏡法は今後も必要不可欠なものと期待される。
 研究支援のために以下に示した装置群を設置しているので、利用希望の場合は、下記の各専門スタッフにお問い合わせください。
◎スタッフ
超高圧電子顕微鏡室の利用申込み・お問合わせ先03-5841-7741
1.透過電子顕微鏡(TEM)・TEM 初心者講習会・TEM 試料作製

  綱川 英男 (内 27741)tunak@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : tunak@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
  柴田 直哉 (内 27756)shibata@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : shibata@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
  伊藤 俊男 (内 27726)itoh@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : itoh@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
  掛川 保富 (内 27726)tommy@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : tommy@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
  井部 克彦 (内 27741)ibe@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : ibe@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
2.走査電子顕微鏡(SEM)・SEM 初心者講習会・SEM 試料作製
  大塚  滋 (内 27753) ohtsuka@sogo.t.u-tokyo.ac.jp mail : ohtsuka@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
3.試料作成
  師山 富雄 (内 27692)moroyama@soyak.t.u-tokyo.ac.jp mail : moroyama@soyak.t.u-tokyo.ac.jp
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透過型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡
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試料作成装置

透過型電子顕微鏡
1.超高圧電子顕微鏡(JEM-ARM-1250)
加速電圧:1,250kV
分解能:0.1nm(粒子像)
2.補助電子顕微鏡(JEM-4000FXU改)
加速電圧:400kV
分解能:0.155nm(粒子像)
PEELS 付





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走査型電子顕微鏡
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試料作成装置

3.透過型電子顕微鏡(JEM-4000FXU)
加速電圧:400kV
分解能:0.194nm(粒子像)
4.分析透過型電子顕微鏡(JEM-2010F)
加速電圧:200kV
分解能:0.19nm(粒子像)
EDS、GIF 付
5.高分解能透過電子顕微鏡(JEM-2000EXU)
有機材料や磁性材料までも利用可能な、0.14nm(格子像)の高分解能画像を得る装置。初心者講習にも利用。
6.分析透過電子顕微鏡(JEM-2000FX、EDS付)
有機材料や磁性材料までも利用可能な、0.2nm(格子像)の高分解能画像を得る装置。組成分析も可。試料傾斜は±30度。
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試料作成装置

走査電子顕微鏡(SEM)
1.サーマル電解放出形走査電子顕微鏡
  (日本電子 JSM-7000F)
インレンズサーマルFEGと開き角自動最適化レンズを装備したHigh Power Opticsにより、最大電流200nAが得られ高倍率観察から余裕あるEDS分析が可能です。当システムには他に反射電子検出器、透過電子検出器とカソードルミネッセンス測定装置(堀場 MP-32M)が装備されています。
2.分析走査電子顕微鏡(日立 S-2400、EDS付)
元素分析(EDS)による定量やマッピングも行うことができるが、主に観察用の走査型電子顕微鏡で、フォーカスや非点をオートで補正できる。
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画像出力装置
試料作成装置

画像処理装置
1.イメージングプレート画像読取装置
  (フジ IPリーダーU FDL5000)
イメージングプレートの読み取り、画像処理ができる
2-1.フィルムスキャナー
  (KODAK MEGAPLUS Camera)
電子顕微鏡フィルムのデジタル画像データを読み取り、画像処理ができる。
2-2.フィルムスキャナー
  (ミノルタDiMAGE Scan MultiPRO)
電子顕微鏡フィルムのデジタル画像データを読み取り、画像処理ができる。
2-3.フィルムスキャナー
  (Epson EU-35・Nikon LS-4500AF)
電子顕微鏡フィルムのデジタル画像データを読み取り、画像処理ができる。右上EU-35、右下LS-4500AF。
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試料作成装置

画像出力装置
1.超高画質カラーデジタルプリンター
  (フジPICTROGRAPHY3000)
デジタル画像データを、レーザー露光熱現像転写方式で高画質カラープリントに出力できる。
2.引伸し機(フジ45S・S690)
撮影した顕微鏡写真を20倍程度まで拡大して印画紙に焼き付け可能。左側45S、右側S690。
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試料作製装置


  東京大学工学系研究科総合研究機構へ   東京大学・日本電子産学連携室へ   ページのトップへ
1.イオンスライサ(JEOL EM-09100 IS)
簡便な手順で電子顕微鏡用の薄膜試料を作成。
2.クロスセクションポリッシャ(JEOL SM-090010)
表面に対して垂直な
断面が制作可能。
3.収束イオンビ−ム試料作製装置
  (日本電子JFIB-2000・JFIB2100)
Gaイオンを照射することで研磨するTEM用試料作製装置(写真 JFIB2100)
4.低角度高速イオン研磨装置
  (PIPS装置 GATAN S-691)
Arイオン を照射することで研磨するTEM用試料作製装置
5.イオンスパッター装置(EIKO IB-3)
Au,Au-v用のコーティング装置
6.イオンスパッター装置(EIKO IB-5)
Pt,Pt-v用のコーティング装置。金コーティングより細かな粒子のコーティングが行える。
7.イオンスパッター装置(日立E-1010)
 AuとCのコーティングを行うことができる。
8.イオンスパッター装置(サンユーSC-701)
試料表面の導電性を改善するAuのコーティング膜が簡単に行える。
9.真空蒸着装置(日本電子JEE-4B)
試料表面の導電性を改善する蒸着膜を作る
10.真空蒸着装置(日立 HUS-5GB)
試料表面の導電性を改善する蒸着膜を作る
11.親水化処理装置(日本電子 HDT-400)
TEM支持膜表面の親水化、SEM支持台の親水化ができる。
12. Hot Plate(HP-300・HP-300A)
TEM用試料作成時の固定に使用する。
(写真 HP-300)
13.低速切断装置(BUEHLER ISOMET)
硬い試料から柔らかい試料まであらゆるものが切断できる
14. 超音波ディスクカッター(GATAN Model 601)
透過電子顕微鏡用試料(3mmφ)の打ち抜きができる。
15. 平行研磨装置(日本電子ハンディラップ HLA-2)
TEM用試料の予備研磨ができる。
16. 平行研磨装置(マルトーダイアラップML-150P)
TEM用試料の予備研磨ができる。
17.ディンプルグラインダー(GATAN Model656)
TEM用試料の最終薄膜化の前に、円形ディンプル研磨ができる。
18. Drying Oven(DO-300)
TEM用試料等の乾燥及び接着に使用する。